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> Systèmes 3 faisceaux
Interferomètre 3 faisceaux à miroir plan
L'interféromètre 3 faisceaux à miroir plan (série SP-TR) développé par la société SIOS GmbH est un interféromètre homodyne (1 seule longueur d'onde) alimenté par un laser Hélium Néon stabilisé en fréquence. L'interféromètre SIOS à trois faisceaux colinéaires permet de mesurer simultanément avec une extrême précision la distance séparant l'objet (miroir plan) de l'interféromètre ainsi que ses angles de lacet et tangage. Une fibre optique conduit la source à l'interféromètre ce qui permet une mise en place « au plus près » du miroir à mesurer. Le déplacement du miroir est converti en deux signaux sinusoïdaux en quadrature directement proportionnels au déplacement. Par comptage de franges et interpolation il est ainsi possible d'obtenir des résolutions inférieures au nanomètre. Un logiciel spécifique assure le traitement, l'affichage et la sauvegarde des données.
Par leur compacité, leur stabilité et leur facilité de mise en place, les applications de ces systèmes sont multiples: mesure de déplacements, lacet et tangage sur platines de translation, dilatomètrie, mesure d'inclinaison de miroirs, tests sur matériaux , étalonnage de bancs d'essais, d'instruments de métrologie...
Données techniques :
- Distance maximale mesurable : 2000 mm
- Résolution : < 1 nm
- Angle mesurable: +/- 2 min d'arc
- Ecart des faisceaux : 2 à 10 mm
- Résolution angulaire : 0.02 sec d'arc
- Longueur d'onde laser : 632.8nm
- Stabilité du laser /24 h: 2.10-8
- Vitesse miroir max : 600 mm / s
- Interfaces : RS232 et USB
- Sorties analogiques ou numériques 32 bit
Fiche Technique du SP-TR
    
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Interferomètre 3 faisceaux à miroir plan |
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