Produits > Micro-positionneurs ultra-compacts > Hexapodes > SMARPOD 110.45

Course *:
 

X, Y :

Θ_X, Θ_Y :  

20 mm

20°

Z :

Θ_Z :  

10 mm

35°

Vitesse Max :
 

X, Y :

Θ_X, Θ_Y :

10 mm/s

10°/s

Z :

Θ_Z :

5 mm/s

10 °/s

Plus petit pas :     
 

X, Y :

Θ_X, Θ_Y :

1 nm

1 µrad

Z :

Θ_Z :

1 nm

1 µrad

Répétabilité axiale :

• Procédure : 10 pas en avant puis en arrière
• Taille des pas : 10 nm
• Un pas toute les 200 ms
• La répétabilité bidirectionnelle est de l'ordre de quelques nanomètres

Répétabilité Angulaire

• Procédure : 10 pas dans un sens puis dans l'autre
• Taille des pas : 1 µrad
• Un pas toutes les  500 ms
• La répétabilité angulaire bidirectionnelle est de l'ordre de quelques dixième de µrad