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La Nano Measuring Machine (NMM), de chez SIOS permet de faire une mesure topographique d’un échantillon d’une taille maximum de 25 x 25 x 5mm avec une résolution de 0.1nm dans tous les axes.

L’échantillon est placé sur une platine de déplacement 3 axes, puis il est scanné en X et Y, un capteur de référence (de résolution nanométrique) garantissant une distance constante entre lui et l’échantillon. La platine Z va ainsi bouger en fonction des variations d’altitude de l’échantillon. Trois interféromètres mesurent les axes X, Y et Z pendant le scan, et permettent de reconstruire la topographie avec une extrême précision.

 La NMM est à l’heure actuelle la machine permettant de topographier des échantillons de grande taille la plus précise. L’enceinte de mesure est régulée en température et en pression, et le bâti de la machine est constitué d’Invar et de Zérodur garantissant une excellent stabilité thermique. Un large choix de capteurs de référence (AFM, capteur à focale fixe, pointe tactile, lumière blanche …) permet de s’adapter à des échantillons de forme et de composition très diverses.