Trois types de pieds sont disponibles :
- LMT (Leveling Mount Table) : ces pieds sont non amortis et réglables en hauteur grâce à un système de vis
- RMT (Rubber Mount Table) : Amortis grâce à des blocs d'élastomère
- DMT (Diaphragm Mount Table) : Amortis par vérins (coussin d'air)

Différents système de contrôle de niveaux sont prévus pour les systèmes RMT et DMT :
- PVS (Pressure Valve System) : pour les applications standards
- SVS (Special Valve System) : pour les applications nécessitant une plus grande stabilité. Fréquence de mise à niveau plus rapide. Valve spéciale avec fonction reset précise.
- ECS (Electronic Control System) : Seulement disponible avec les versions DMT. Niveau automatique, sans contact pour une isolation optimale.