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Produits > Interféromètre et vibromètre laser > Principe de fonctionnement

Interféromètre et vibromètre laser Interféromètre et vibromètre laser SIOS

 

Le schéma de principe ci-contre montre le fonctionnement d'un interféromètre de Michelson. Le source est un Laser Helium-Neon stabilisé. Elle est séparée en deux bras par une lame séparatrice : un bras de référence, fixe, et un bras mobile, qui sera la surface dont on souhaite connaitre le déplacement. Ces deux faisceaux sont réfléchis par des miroirs et renvoyés sur la lame séparatrice. 

 

La réunion de ces deux faisceaux, en sortie de lame séparatrice génère des franges d'interférence, qui ont la particularité d'avoir un espacement entre elles - l'interfrange - égal à la longueur d'onde du laser/2 (λ / 2)  (d'où l'importance d'avoir un laser extrêmement bien stabilisé). Ces franges se déplacent en même temps que le bras mobile se déplace : il suffit donc de les compter pour savoir de combien le bras mobile se déplace. Néanmoins, nous n'avons pour le moment qu'une résolution de λ / 2, soit environ 315nm avec un Helium Neon rouge.

 

La passage d'une frange à une autre n'est pas une alternance "noir/blanc" mais en réalité toute une gamme de nuance allant du noir au blanc, et analysable par une photodiode et un calculateur. Le signal est donc séparé en deux brins à la sortie de la lame séparatrice de façon à obtenir deux signaux en quadrature de phase, qui vont nous permettre grâce aux photodiodes et calculateurs d'interpoler l'interférogramme et de connaitre le sens de déplacement du bras mobile. La qualité actuelle des interpolateurs SIOS permet d'obtenir une résolution de 0.1nm

 

Des interféromètres (simple, double triple faisceaux), vibromètres, machines à mesurer la topographie, jauges interférométriques sont déclinées à partir de ce principe.

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