Ellipsomètres

Ellipsomètre d’imagerie Nanofilm EP4

La nouvelle génération d’outil de métrologie de surface et film microscopique utilise une combinaison d’ellipsométrie à calibration automatique et de microscopie pour permettre la caractérisation de surface avec une résolution latérale de 1 micron. Ce qui permet d’obtenir une résolution d’échantillon 1000 fois plus petite que la plupart des ellipsomètres non imageurs, même s’ils utilisent l’option spectroscopique par micro-point. L’ellipsomètre nanofilm_ep4 utilise une variété de fonctionnalités uniques qui permettent la visualisation de votre surface en temps réel pour une analyse de surface et une mesure de rugosité optimale. Vous pouvez voir la structure de votre échantillon à une échelle microscopique et mesurer des paramètres tels que l’épaisseur, l’indice de réfraction et l’absorption. Des cartes de profil 3D de zones sélectionnées peuvent être enregistrées. Des combinaisons d’instruments avec d’autres technologies telles que l’AFM, le QCM-D, la réflectométrie, la spectroscopie Raman, etc. permettent de recevoir encore plus d’informations de vos échantillons.

Logiciel de modélisation sophistiqué associé à l’ellipsomètre

Le logiciel nanofilm_ep4 est modulaire. Des modules logiciels distincts simplifient le fonctionnement de l’ellipsomètre. Ils permettent l’analyse à distance des données collectées à partir de l’instrument. Les modules logiciels sont :

• AccurionServer,
• EP4Control,
• AccurionDataStudio et
• EP4Model.

AccurionServer est un organisateur de la structure de stockage de données et de toutes les sources de données prises en charge. EP4Control exploite l’instrument et inclut des fonctions de traitement d’image. AccurionDataStudio permet un traitement des données indépendant de l’instrument. EP4Model permet la modélisation de couches minces complexes et la mesure des données mesurées (non requis pour les mesures BAM).

Caractéristiques principales de l’ellipsomètre :

Visualisation directe des échantillons avec une image de contraste ellipsométrique de résolution latérale 1 micron
Plage de longueurs d’onde de 250 nm à 1700 nm
Large gamme d’accessoires pour une variété d’applications (cellules SPR ou solides / liquides, guide de lumière pour interfaces liquide / liquide, microfluidique, contrôle de la température, cellules d’électrochimie, etc.)
Images en temps réel, qui fournissent une vision presque complète de la surface, des défauts ou des structures
Mesure parallèle de plusieurs zones dans le champ de vision sélectionné
Suppression des reflections de l’arrière plan permettant la mesure de substrats fin transparents
Configuration microscope à angle de Brewster (BAM), ellipsomètre différentiel (RSE)