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    La nouvelle génération d’instrument de métrologie des couches minces tel que l’ellipsomètre, des surfaces et des matériaux utilise une combinaison d’ellipsométrie automatique et de microscopie. Celà permet de caractériser les surfaces avec une résolution latérale de 1 micron, soit 1000 fois plus petit que la plupart des ellipsomètres non imageurs, même s’ils utilisent l’option de microspectroscopie.

    L’ellipsomètre EP4 utilise une variété de fonctionnalités uniques qui permettent la visualisation de votre surface en temps réel. Vous verrez la structure de votre échantillon à une échelle microscopique et pourrez mesurer l’épaisseur, l’indice de réfraction et l’absorption par exemple.

    Des cartes de profil 3D de zones sélectionnées peuvent être enregistrées. Des combinaisons d’instruments avec d’autres technologies telles que l’AFM, le QCM-D, la réflectométrie, la spectroscopie Raman, etc. permettent de recevoir encore plus d’informations de vos échantillons.

    Le logiciel de modélisation est modulaire et simplifie le fonctionnement de l’instrument. Il permet l’analyse parallèle ou hors ligne des données collectées à distance de l’instrument.