Ellipsomètres

Ellipsomètre d'imagerie nanofilm_ep4

La nouvelle génération d’outil de métrologie de surface et film microscopique utilise une combinaison d’ellipsométrie à calibration automatique et de microscopie pour permettre la caractérisation de surface avec une résolution latérale de 1 micron. Ce qui permet d'obtenir une résolution d'échantillon 1000 fois plus petite que la plupart des ellipsomètres non imageurs, même s'ils utilisent l'option spectroscopique par micro-point. L'ellipsomètre nanofilm_ep4 utilise une variété de fonctionnalités uniques qui permettent la visualisation de votre surface en temps réel. Vous pouvez voir la structure de votre échantillon à une échelle microscopique et mesurer des paramètres tels que l'épaisseur, l'indice de réfraction et l'absorption. Des cartes de profil 3D de zones sélectionnées peuvent être enregistrées. Des combinaisons d'instruments avec d'autres technologies telles que l'AFM, le QCM-D, la réflectométrie, la spectroscopie Raman, etc. permettent de recevoir encore plus d'informations de vos échantillons.    

 

Logiciel de modélisation sophistiqué associé à l'ellipsomètre

Le logiciel nanofilm_ep4 est modulaire. Des modules logiciels distincts simplifient le fonctionnement de l'ellipsomètre. Ils permettent l'analyse à distance des données collectées à partir de l'instrument. Les modules logiciels sont :

AccurionServer est un organisateur de la structure de stockage de données et de toutes les sources de données prises en charge. EP4Control exploite l’instrument et inclut des fonctions de traitement d’image. AccurionDataStudio permet un traitement des données indépendant de l'instrument. EP4Model permet la modélisation de couches minces complexes et la mesure des données mesurées (non requis pour les mesures BAM).    

 

Caractéristiques principales de l'ellipsomètre

Appeler
Appeler

Etre rappelé
Etre rappelé

Nous écrire
Nous écrire

En poursuivant votre navigation sur ce site, vous acceptez l’utilisation de cookies pour réaliser des statistiques de visites

Pour en savoir plus et paramétrer les traceurs