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Deux comparateurs interférométriques sont disponibles :
- Le LM : plage de mesure restreinte, 20mm pour le LM20 et 50mm pour le LM50
- Le EPP : mesure de 0.5 à 100mm en permettant de régler la hauteur de la jauge à l'aide d'une crémaillère.
Les deux systèmes offrent une résolution de 1nm et différentes touches de façon à s'adapter à tout type de surface ou de matériau
