Une nouvelle platine de rotation compensée chez Attocube !

Attocube a développé, en partenariat avec le Synchotron SOLEIL, une platine de rotation compensée pour avoir la rotation réelle la plus précise possible. Unique sur le marché !

• Précision nanométrique réelle dans le positionnement

→ stabilité la plus élevée de l’axe de rotation : décalage par rapport à la rotation théorique

• Conception miniaturisée pour les espaces confinés

→ faible encombrement, algorithme de compensation intégré au contrôleur, pas d’intégration de capteur dans la configuration

• Précision angulaire la plus élevée

→ Résolution µ ° et répétabilité m °

• Faible vibration et grande robustesse

→ aucune compression d’air requise grâce à la technologie d’entraînement piézo inertiel

LE CHALLENGE

Les applications de positionnement telles que l’imagerie à rayons X tridimensionnelle nécessitent une rotation nanoprécise des optiques et des échantillons du faisceau. Les platines de rotation piézoélectriques atteignent une précision angulaire élevée, mais sont confrontés à un défi: les «battement axial» ou erreur de concentricité de l’ordre du micromètre.

Les battement axials se produisent en raison de mouvements radiaux lors de la rotation de la platine. Ce mouvement détermine la précision et la résolution réalisables dans les applications de rotation à l’échelle nanométrique.

ANALYSE DU PROBLEME

L’interféromètre à déplacement IDS3010 caractérise le mouvement des platines de rotation selon deux axes (x, y) avec une précision nanométrique.

Les mesures prouvent que le battement axiale se produit de manière très répétable. Il est donc possible d’attribuer un facteur de correction spécifique à l’appareil à chaque position angulaire.

LA SOLUTION

Le battement axial étant prévisible, il est donc possible de compenser les erreurs de rotation. Ceci est réalisé en plaçant le rotateur sur une platines piezo de translation qui permet des mouvements XY précis au nanomètre. Les facteurs de correction spécifiques à la platine de rotation sont inclus dans le contrôleur xy et permet une compensation automatisée.

Ceci conduit à une augmentation significative de la stabilité de l’axe de rotation et donc à une précision nanométrique réelle de positionnement !