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    Ces éléments ont été développés à l’origine pour le contrôle de la qualité dans l’industrie optique et se composent d’un actionneur piézoélectrique associé à un micromètre.

    L’utilisateur peut d’abord régler la position de l’actionneur, puis ajuster cette position à l’aide du piezostage. La résolution est comprise entre nm et sous-nm.

    En raison de la construction très robuste de l’élément, des masses de charge élevées peuvent être levées.

    Nom Course Compatibilité
    Mici 80 80µm series152 de « Mitutoyo »
    Mici 140 140µm series G de « Qioptiq Photonics »
    Mici 180 180µm series M13 de « Newport »
    Mici 200 250µm series 152 from « Mitutoyo »