La platine piezo inertielle ECSx3030 est la plus petite platine de la gamme industrielle de chez attocube. Elle offre un positionnement haute résolution sur une plage de déplacement de 20 mm.
Pour le positionnement en xyz, deux entraînements ECS sont montés les uns sur les autres dans une orientation perpendiculaire et un troisième est ajouté avec un support en L. Sa haute précision est obtenue avec des roulements à rouleaux croisés.
Le corps des axes linéaires est disponible en acier inoxydable (/StSt) pour les applications sous vide et ultravide (/HV ou /UHV), ou en aluminium pour les environnements atmosphériques standards (/Al).
Ces platines sont disponibles en version boucle ouverte et boucle fermée. Le contrôle de la précision peut être opéré par capteur optoélectronique (/NUM ou /NUM+).
Elles s’utilisent avec le contrôleur AMC100
Liste complète des nanopositionneurs.pdf
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