La platine piezo inertielle ECSx5050 est le positionneur avec le plus grand encombrement de la gamme industrielle Attocube. Il offre un positionnement haute résolution sur une plage de déplacement de 30 mm. Pour le positionnement en xyz, deux entraînements ECS sont montés les uns sur les autres dans une orientation perpendiculaire et un troisième est ajouté avec un support en L. Sa haute précision est obtenue avec des roulements à rouleaux croisés.
Cette platine linéaire existe dans une version permettant de déplacer des charges plus importantes (/HL).
Le corps des axes linéaires est disponible en acier inoxydable (/StSt) pour les applications sous vide et ultravide (/HV ou /UHV), ou en aluminium pour les environnements atmosphériques standards (/Al).
Disponible en boucle ouverte et fermée. Le contrôle de la précision peut être opéré par capteur optoélectronique (/NUM ou /NUM+).
Elles s’utilisent avec la contrôleur AMC100.
Liste complète des nanopositionneurs.pdf
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