-
EZ-0117 XY-Stage
Course : 250 x 450/800 mm.
Répétabilité : ± 75 nm.
-
EZ-0714 XY-Gantry Stage
Course : 500/600 x 500 mm.
Répétabilité : ± 50 nm.
-
EZ-0715 High Precision Gantry Stage
Course : 350 x 450 mm.
Répétabilité : ± 20 nm.
Course : 250 x 450/800 mm.
Répétabilité : ± 75 nm.
Course : 500/600 x 500 mm.
Répétabilité : ± 50 nm.
Course : 350 x 450 mm.
Répétabilité : ± 20 nm.
