EZ-0715 High Precision Gantry Stage

Le portique sur palier à air EZ-0715 est un système de positionnement XY compact conçu pour des applications de très haute précision. Il atteint une précision de positionnement de ±250 nm (compensée) et une répétabilité de ±20 nm, avec une stabilité de 15 nm.

Les moteurs synchrones ironless offrent un mouvement fluide sans effet de crantage, ainsi qu’une précontrainte par vide garantissant une rigidité maximale dans un espace réduit. Ces moteurs permettent également une accélération allant jusqu’à 10 m/s² et une vitesse de déplacement pouvant atteindre 0.5 m/s. La position finale est détectée par des capteurs inductifs. Cette platine XY et sa technologie air bearing peut inclure un axe supplémentaire -Z et/ou une rotation.