La platine multilinéaire XY sur parlier à air EZ-0117 a été conçue pour être économique tout en répondant aux exigences élevées de précision. Les guidages des paliers à air sont protégés par des soufflets afin de prévenir l’intrusion de particules, rendant l’utilisation de cette platine particulièrement adaptée aux environnements chargés en particules. Les moteurs synchrones ironless permettent des accélérations allant jusqu’à 10 m/s² et une vitesse de déplacement maximale de 1 m/s.
Une plaque d’interface est prévue sur le côté de la table croisée pour la transmission de l’énergie, des signaux et de fluides. Les deux axes peuvent être alimentés séparément en énergie électrique et pneumatique. La position finale est détectée par des capteurs inductifs. Le socle de la machine est en granite.
L’EZ-0117 et sa technologie air bearing est disponible en deux courses standards de 250 x 450 mm ou 250 x 800 mm. D’autres dimensions ou extensions du système sur deux axes sont possibles sur demande. Peut être adaptée pour la salle blanche.
| Type | EZ-01176-450 | EZ-0117-800 |
| Course | 250 x 450 mm | 250 x 800 mm |
| Précision de positionnement | ± 2 µm | ± 2 µm |
| Répétabilité (bidirectionnelle) | ± 75 nm | ± 75 nm |
| Stabilité de position | 50 nm | 50 nm |
| Vitesse max. à vide | 1m/s | 1 m/s |
| Accélération max. à vide | 10 m/s² | 10 m/s² |
| Dimension L x W x H | 1198 x 1201 x 297 mm | 1216 x 1540 x 297 mm |
| Charge utile en Z | 500 N | 500 N |
| Poids total | 675 kg | 850 kg |
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